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ZXL-830D型氦質譜檢漏儀
一、產品介紹

    ZXL-830D型是一款配置無油干泵的氦質譜檢漏儀。適用于對高清潔的真空設備進行檢漏。

 
二、主要技術指標
1.  最小可檢漏率:2×10-12Pa·m3/s
2.  漏率顯示范圍:1×10-3—1×10-12Pa·m3/s
3.  啟動時間:≤3min
4.  響應時間:≤1s
5.  檢漏口的最高壓力:1500Pa
6.  極限壓強:5×10-4Pa
7.  電源要求:220V,50Hz,單相,10A
8.  工作環境:5-35℃
9.  相對濕度:≤80%
10. 外形尺寸:550(W)×420(D)×700(H)
11. 重量:65kg
 
三、主要配置                                       
1. 進口檢漏儀專用分子泵
2. 進口干泵
3. 配置標準漏孔
4. 美國AD放大器
5. 采用質譜專用模塊
6. 臺達觸摸彩屏
 
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